آنالیز با استفاده از میکروسکوپ روبشی sem :

نوعی میکروسکوپ الکترونی است که قابلیت عکس‌برداری از سطوح با بزرگنمایی ۱۰ تا ۵۰۰۰۰۰ برابر با قدرت تفکیکی کمتر از ۱ تا ۲۰ نانومتر (بسته به نوع نمونه) را دارد.  این میکروسکوپ یکی از روش‌های تولید تصاویر با روبش یک پرتو الکترونی روی سطح نمونه است. طول موج الکترون‌ها از فوتون‌های نور کوتاه‌تر بوده و طول موج کوتاه‌تر باعث ایجاد وضوح، قدرت تفکیک و حصول اطلاعات مناسب تر می‌شود.

نخستین تلاش‌ها در زمینه توسعه میکروسکوپ‌های روبشی به سال 1935 باز می‌گردد، که ماکس نول در آلمان پژوهش‌هایی در زمینه پدیده‌های الکترونیک نوری انجام داد و تصویری را از فولاد سیلیسیمی به دست آورد. توسعه بیشتر SEM توسط پروفسور چارلز اُتلی و همکارش گَری استوارت در دانشگاه کمبریج بریتانیا انجام شد و در سال ۱۹۶۵ برای اولین‌بار میکروسکوپ الکترونی SEM به صورت تجاری روانه بازار شد.

میکروسکوپ الکترونی روبشی یا SEM مستقر در این واحد قابلیت که قابلیت عکس‌برداری از سطوح با بزرگنمایی ۱۰ تا ۵۰۰۰۰۰ برابر بسته به نوع نمونه را دارا می باشد ازمیکروسکوپ الکترونی رویشی در جهت آنالیز ساختار مرفولوژی و نانو ساختار ها و شناسایی ترکیبات شیمیایی آن ها استفاده میگردد.